stake com

瑞翁（Zeon）面向新一代stake com制造提供各种高选择比的绝缘膜蚀刻气体。

• 蚀刻气体（C5F8）
• stake comSiN蚀刻气体（研发中） ^※
• stake comSiO2、Low-K蚀刻气体（研发中） ^※

• 光刻胶
• 电子束光刻胶