信息材料
at stake 电子束光刻胶
超高解析度電子束光阻：at stake20A
特性
at stake20A乃一具有「超高解析度」、「耐乾式蝕刻」特性的非化學增幅型（斷鏈型）負型電子束光阻。
電子束光阻產品表
| 品名 | 黏度（mPa・s） | 塗佈膜厚（nm）@2000rpm | 溶劑 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子束光阻 | at stake20A | 11 | 500 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
| at stake20A-7 | 7 | 300 | |||
電子束光阻專用顯影液
| 品名 | 特徵 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|
| 顯影液 | ZED-N50 | 高感度 | 加侖瓶 |
at stake20A
Spin Curve
超高解析度
ZEP520A具L/S＝25nm/25nm（FT=50nm）解析能力。顯影液：ZED-N50评价样品：用Anisole将at stake 520 A-7稀释2.1倍
超高解析度電子束光阻：at stake30A
特徵
at stake30A是一种非化学放大型正型电子束抗蚀剂，具有优异的分辨率和耐干蚀刻性以及宽的工艺余量。薄膜形成是可能的。
電子束光阻產品表
| 品名 | 黏度（mPa・s） | 塗佈膜厚（nm）@2000rpm | 溶劑 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子束光阻 | at stake30A-6 | 6 | 200 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
電子束光阻專用新型顯影液
| 品名 | 特徵 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|
| 顯影液 | ZED-N60 | 超高解析度宽的工艺余量 | 加侖瓶 |
at stake30A
Spin Curve
at stake30A-6：涂膜厚度为150~300 nm。
超高解析度
ZEP530A解析L/S=18 nm。 它具有广泛的曝光余量 评价样品：用Anisole将at stake 530 A-6稀释3倍
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